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實測電子衡器內部結構組件參數

    PIMI測量原理的細節及其在亞波長納米顆粒成像中的地磅遙控器應用之前已有報道[24],[32]。然而,它在線狀邊緣特征化中的應用還沒有得到充分的研究和驗證。這是由于在目前的研究中,在相對復雜的邊界條件下求解麥克斯韋遠場散射光場方程時遇到了困難。因此,我們采用FDTD方法數值求解PIMI測量光照條件下的Maxwell方程組,例如旋轉光照的偏振,以獲得PIMI中所用的參數圖像表示的遠場散射分布。如圖5所示,在不同的位置計算了電子地磅控制器去極化(Idp)、Ex和Ey之間相位差的正弦(sinδ)和ν的遠場間接參數圖像,包括圖案化器件的直邊和曲邊。

    如第2節所述,PIMI能夠通過測量和分析數字地磅遙控器圖案化器件側壁的遠場光散射強度來獲得高分辨率斯托克斯參數的光學圖像(映射)[24]。由于Stokes參數對樣品各向異性的高度敏感性,這些散射光波間接參數的圖像可以進一步利用,以納米級的分辨率獲得這些側壁的結構和成分信息。在這項工作中,圖像是在暗場照明地磅控制器配置下拍攝的,因為與明場照明相比,暗場照明對光學各向異性具有更高的靈敏度[18]。
 
    我們比較了樣品相同側壁的常規顯微圖像和PIMI圖像(圖6(a))。在圖6(c)中,間接圖像顯示了來自側壁邊緣的散射強度的波紋,這在常規顯微圖像中沒有顯示(圖6(b))。通過沿著圖中所示的線繪制強度剖面圖,對I00和ν圖像進行比較。結果如圖6(d)所示。ɕ圖像強度剖面中出現的峰值,即圖6(d)中的紅線,清楚地證實了PIMI無線地磅遙控器感應超出衍射極限的側壁結構信息的能力。此外,如圖6(d)中的兩個點圓所示,它證明了ν圖像的邊緣擴展函數比I00圖像的邊緣擴展函數窄得多。有趣的是,兩個邊緣擴散函數出現在ɕ圖像的強度剖面中,而I00圖像中僅顯示一個邊緣。結果表明,與傳統顯微鏡相比,PIMI具有更高的對比度和分辨率。
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